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真空装置の設計・製造

渡辺真空では、真空ポンプの修理・メンテナンスだけではなく、真空装置の設計・製作・改造・移設も行っております。
これまで手掛けた装置や移設作業の一部をご紹介いたします。

スパッタリング装置

スパッタリング装置

スパッタリングとは、ターゲット(材料)に高エネルギーの原子を衝突させることでターゲット表面の原子を叩き出してワーク(基板等)に薄膜を形成させる技術です。

スパッタリングの方法は幾つかありますが、弊社では主としてマグネトロン・スパッタリング法を採用しています。マグネトロン・スパッタリングでは、ターゲット背面に置かれた磁石から発生する磁界により、高密度のプラズマ領域が作り出されます。これによりスパッタ効率が上がり成膜速度が向上します。また放電可能なガス圧力を下げる事が出来るので、膜中への不活性ガスの混入量を下げられます。

マグネトロン・スパッタリング装置にはターゲットの利用率が低いという欠点がありますが、私たちはマグネットを研究し、電極も自社設計することにより、利用率を高める点で成果を上げています。

既存の真空装置をスパッタリング装置に改造するサービスも実施しています。

プラズマ重合装置

プラズマ重合装置

プラズマ重合とは、真空中にモノマーガスを導入し、高周波によってプラズマ化させることで、ワーク(基板等)にポリマー膜を形成させる技術です。

導入ガスの種類や成膜条件を変えることで、疎水性や親水性のある膜の形成が可能です。蒸着膜の保護膜をプラズマ重合で形成することにより、トップコートの塗装工程をなくすことが出来ます。これにより塗料を乾燥させる時間や、塗装で生じる不具合もなくなるため、生産性を大幅に向上させることが可能となります。

蒸着装置やスパッタリング装置への改造工事も実施しています。

抵抗加熱式蒸着装置

抵抗加熱式蒸着装置

抵抗加熱式蒸着装置とは、物理蒸着法の一つで、薄膜材料を加熱蒸発させ、蒸発温度より低い温度のワーク(基板等)に凝縮,固化させることにより薄膜を形成させる技術です。

発熱体にはタングステン、タンタル、モリブデン等の高融点金属のワイヤーまたはボート状のフィラメントが広く利用されています。

私たちは不連続蒸着に対応したオリジナル抵抗加熱式蒸着装置を製作し、高い生産性でご好評をいただいております。既存蒸着装置の高効率化のためのリニューアル、その他フィラメント、蒸着材の販売も行っております。

真空装置の移設

真空装置の移設

工場の移転やレイアウト変更、及び設備の入替に伴う真空装置の移設・撤去工事を行っております。

移設後にはヘリウムリークディテクタによる真空漏れ試験や動作確認も可能です。真空ポンプの機種変更等に伴う配管のリニューアルも実施しています。

解体撤去の場合、契約産廃業者との協力により、廃棄処理までお引き受けすることもできます。

真空配管・チャンバーの設計・製作

真空配管・チャンバーの設計・製作

真空配管及び真空チャンバーの設計・製作を行っております。図面やポンチ絵をお送り頂ければお見積りが可能です。

また真空フランジやガスケットのみのお取扱いもしておりますので、お気軽にご相談下さい。

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