service蒸着部材の販売

パーティクルゲッターとは、特殊表面加工されたCu(Ni) 箔であり、従来の溶射加工、ブラスト加工の代わりに成膜装置内のパーティクルを抑制する製品です。膜は基板のみならずマスクやシールドにも付着しますが、付着膜が厚くなるにつれ剥離する危険性が高まります。

それらに付いた膜からの汚染（膜剥がれなど）を防ぐための当社独自に開発された特殊なCu（Ni）箔です。パーティクルゲッターを装置内のパーツ（マスク・シールドなど）表面に貼ることにより下記の効果が期待できます。